最近、クリーン化技術では化学汚染対策から、大きなパーティクルの管理技術へと対策が変わってきています。本冊子は、粗粒子測定装置、レーザーによる可視化手法による原理と応用事例、そして、異物の分析手法を分かり易く解説し、初心者から専門レベルの技術者がクリーン化技術の新しい潮流を手軽に学べる一冊です。
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日工の知っておきたい小冊子シリーズ
知っておきたい異物対策とクリーン化の基礎技術
編集 クリーンテクノロジー編集部
監修 オムロン㈱ 中川喜久
B5判 36頁 定価500円(税込)
